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    • 清華大學(xué)采購PLUTO-T等離子清洗機(jī)
      清華大學(xué)采購PLUTO-T等離子清洗機(jī) 清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備,最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)。根據(jù)客戶的技術(shù)要求,提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī),以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
    • 上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備
      上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月,上海交通大學(xué)采購我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻,涂覆面積為150*150mm,具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
    • 電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠
      電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠 電子科技大學(xué)已采購多臺等離子設(shè)備,包括PLUTO-T等離子清洗機(jī),PLUTO-MD等離子去膠機(jī)等,用戶反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有:晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機(jī)物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

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    等離子去膠機(jī)采用了一種非接觸式脫膠技術(shù)

    等離子去膠機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)進(jìn)行表面清洗和去膠的設(shè)備。其基本原理是通過氣體放電產(chǎn)生等離子體,這些高能粒子能夠解離化學(xué)鍵、改變分子結(jié)構(gòu),從而有效去除硅片、玻...

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    技術(shù)文章| Technical articles

    一起來了解下等離子表面處理系統(tǒng)

    要想理解等離子表面處理系統(tǒng),需要先了解等離子體的概念,等離子體,被譽(yù)為物質(zhì)的第四態(tài),是氣體在高溫、強(qiáng)電場或激光等能量作用下,部分或全部電離形成的一種由電子、離子、自由基及中性粒子組成的混合體系。與固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)相比,等離子體具有特殊的物理化學(xué)性質(zhì),如高能量密度、高反應(yīng)活性等,這些特性使得等離子體在材料表面處理中展現(xiàn)出巨大的潛力。等離子表面處理系統(tǒng)利用等離子體對材料表面進(jìn)行物理或化學(xué)改性的技術(shù)。其基本原理是通過將氣體(如氬氣、氧氣、氮?dú)獾?引入真空腔室,并在其中施加電場或射頻...

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